穿越2018从造光刻机开始

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第99章 我们终于成功了

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当晚,路阳参加了芯片小组的在线上会议,直接把情况汇报给芯片小组的几位领导。

半导体年会后,路阳被授权加入芯片小组,无需周怀义在中间转达。

程春贤叹了口气:“华微毕竟是家民营企业,任老定下的规矩他也不能打破,事情有利有弊,让他们自己去闯吧,双管齐下未必不是件好事。”

“哼,我看是他们的董事会舒服太久,被媒体捧得太高了,dUV光刻机的技术他们要可以,拿钱来换,少了1000亿不谈,EUV就免谈了。”郝顺富明显有些气愤,这种时候资源的分流,只会影响速度。

廖老也说道,“苏硅这边的团队怎么办?”

路阳把任老最后的话复述了一遍,郝顺富听了语气缓和许多,“总算还有些魄力,事情就这样定了,你们选的地方也还不错,申城那边会全力支持华芯的,既然已经有过合作,建设就交给申城建工吧。”

“嗯,我也是这个想法,晶圆厂的事我会亲自负责。”路阳说道,晶圆厂他必须亲自参与,利用系统的纠错功能,把进度拉快。

廖老也赞同路阳的做法,“我们并非完全没有经验,苏硅新建的5条生产线可以算得上是个缩小版的晶圆厂了,团队也是成熟的,虽然要求会更苛刻,有小路在的话问题不大。”

程春贤问道,“怀义,光刻机生产线那边准备好了吗?”

周怀义说道,“低端制程的两条生产线节后试产,90纳米的3条生产线3月中试产,28纳米的准备工作也基本完成,现在主要受限在镜片产能无法跟上,华芯光学预计最快也要到3月份才开始生产,第一批生产线为10条,现在长春光机所的5条镜片加工线产能也拉到了极限。”

这也是没办法的事,镜片工艺本就是光刻机制造中最难的部分,无论是申城微电子还是华芯都在等着那边的镜片。

“这次的授权,镜片方面只放了3家,申城微电子、张江高科、国望光学,其他的不满足条件,给了技术也要消化好几年。”周怀义表情有些无奈,几十家相关企业,最终满足条件的只有这三家。

“这事也只能我们自己上了,华芯光学再多建几条生产线就是了。”路阳安慰道。

“我也想,现在就是按照20条生产线设计的,但是离子束抛光机根本就没有生产线,要求太高了,要不是有23所的同志帮忙,光机所那边也造不出来,这事只有等华芯的工程师们破解,现在已经请柴文政教授的助手去给他们做培训了。”

“行了,万事开头难,郎副部长今天有事不能参加今天的会议,明天他会直接到苏硅,等你们的好消息!”

程春贤干脆的结束了线上会议,米国的这次制裁,不仅仅是华微一家,被列入实体清单的华国企业高达50多家,连高校都20几家进入名单,等着他去解决的事还有一大堆。

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海思何洪年抱着极为沉重的心情连夜赶回苏硅,临走前任老私下跟他交代了这边的事。

董事会投票只有他跟任老还有几位董事赞成华芯的方案,以轮值主席余跃为首的大部分董事会成员都投了反对票。

“所以,结果就是华微打算自己做Idm,建造自己的晶圆厂了?”

酒店房间内,大半夜的两人都无法入睡,抽起了烟,温天洋心中还是略感失望。

“他们以为华芯能攻克28纳米光刻机主要功劳是海思,出于保密协议,我跟任老都不能告知这一切。”何洪年声音有些沙哑,总部的董事会无论他如何解释,都不能说服对方。

温天洋说道,“老何,你我都清楚,建造晶圆厂的复杂程度,华芯能有这种速度,是举国之力啊,华微一家能做到?就算能做到,技术授权呢?华芯能给?我还听说余大嘴跟路总闹过矛盾!”

“相处了这么久,路阳的性格我还是明白的,说话不会绕弯,太过刚直,但我看得出来他对我们,对任老,是非常尊敬的,dUV的技术授权问题应该不大,如果不出意外,苏硅这300人的团队就是华芯的谈判筹码,老余这边要下血本了!”

何洪年继续说道,“任老也是这个意思,让你们留下,加入华芯,有了这层关系,也算是给华微留点后手,EUV的事华芯是绝无可能同意的,路阳是个民族情结很深的人,这也是我想不明白的地方,他还不到30岁,天然排斥国外技术与团队。”

温天洋叹了口气,“我明白了,前几天消息传回苏硅时,所有人的那种情绪你是没看到,申城建工的那群人直接拉了横幅干活,像极两弹一星时期的那种样子,为国争光,是啊,这四个字就可以让所有人不分昼夜的奋斗。”

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次日清晨,28纳米浸没式dUV双工件台光刻机首次流片正式启动。

净室外的观察室挤满了人,商务部副部长郎廷,申城副市长,廖老带领的专家组团队,海思团队,华卓团队,华芯三巨头,各分公司负责人,华大九天刘永锐。

申城微电子董事长贺兆国也亲自过来,现在两家的关系是你中有我,我中有你,否则申城微电子那边不会准备好5台实验机,就等着这边流片成功,马上复刻。

贺兆国看着眼前的路阳,怎么看都觉得眼熟,

“路总真是年轻有为,我们应该是在哪里见过吧?”

路阳心中腹诽,“不就是之前一起参观过ASmL吗,还好这位老总贵人多忘事。”

“贺总您好,这很正常,我是廖老学生,之前到常到申城微电子,还见过您几次!”

“哈哈,原来如此,都是一家人啊!”

现场众人视线集中在出口,检测员全身穿着防尘服,快步走出超净室,取下口罩,

“前100片7纳米制程芯片流片成功,良品率92%!”

全场先是寂静无声两秒,接着便是一阵欢呼,由于净室的特殊要求,并不能大声喧哗。

但是路阳管不了这么多,大声说道,“大家别压抑了,这点成本,就当是庆祝了!”

说完一把抱住了旁边的人,眼含热泪,嘶吼道,“我们终于成功了!”

【第一卷终:流泪的不止路阳,还有作者,愿华国半导体芯片早日突破,不再看人脸色!】

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